项目检测对象：氦质谱检漏仪

主要应用领域：汽车制造、空调制冷、半导体、新能源

CNAS认可情况：已获认可

项目简介：

氦质谱检漏仪是以氦气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器。

为了更好地评价氦质谱检漏仪的技术性能，本实验室依据JJF(军工)186-2018《氦质谱检漏仪校准规范》中的真空标准漏孔组校准方法对氦质谱检漏仪进行校准。真空标准漏孔组中的标准漏孔直接溯源至中国计量科学研究院。

本装置最小可检漏率的范围为：（5×10-13~1×10-9）Pa.m3/s,扩展不确定度为Urel=20%。

校准系数的范围为：0.5~1.5，扩展不确定度为Urel=13%。

真空标准漏孔组